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超純水設備,電子半導體超純水設備PH問題
日期:2011-11-22   來源:

“我們的超純水,pH出了問題。應該是pH中性的超純水,經(jīng)酸度計測出來的結(jié)果竟然偏酸(或偏堿),到底水質(zhì)出了什么問題?到底是發(fā)生了什么事情呢?
通常,我們用18.2MΩ.cm來表示超純水的純凈程度到了極限(總鹽類濃度在1ppb以下),
{PPb是partsperbillion的縮寫,系表示液體濃度的一種單位符號。
一般讀作1/10億,即10^9的代表符號,是1‰ppm。
10的-9次方數(shù)量級,比較小的單位,類似的還有ppm,ppt等,分別是-6次和-12次.
此類名稱是根據(jù)具體情況表達為不同的標準化的量: ppm10-6(10的負6次方)相當微克級
ppb10-9(10的負9次方)相當納克級
ppt10-12(10的負12次方)相當皮克級}
在這種情況之下,留在水中并可以導電的陰陽離子,也只剩下1*10-7 M的[H+]及[OH-]了。
這時,二氧化碳→碳酸所帶來的酸堿變化就非常有趣了。首先,空氣中二氧化碳的濃度雖然只有0.035% (350ppm),卻能與水產(chǎn)生化學變化,反應如下:
CO2(g) + H2O(l) <-----> H2CO3(l)
雖然,碳酸是一種弱酸(Ka1=4.3×10-7),但由于超純水中已無任何主導性的相對強酸,強堿,共軛酸,共軛堿的情況下,碳酸是唯一主導性弱酸,也是唯一[H+]離子的來源(忽略掉H2O的解離)。
Ka1=[H+][HCO3] /[H2CO3]=4.3×10-7
如有需要,我們可以在實驗室里模擬出二氧化碳→碳酸→碳酸根離子的狀況,當超純水開始曝露在大氣下時,二氧化碳的溶解,就無可避免的持續(xù)下去,這時,我們可以由兩種方法來監(jiān)視這個過程(請參考附錄2)。
導電度會持續(xù)升高,通常,在一小時之內(nèi),導電度會由0.055μS/㎝ (18.2MΩ.㎝)升高到0.25μS/㎝以上(4MΩ.㎝以下),過程中水中總離子濃度提高到4.5倍以上。
pH會從7(中性)開始持續(xù)性的下降,大約在一小時以內(nèi),pH值會降至5.7,并還會緩步下降至4.7左右(約需兩天),鮮有例外。
當然,從這個不可逆現(xiàn)象看來,超純水是要現(xiàn)取現(xiàn)用的,任何方式的久放,除了會有容器造成的污染,及開放下(open air)的灰塵/揮發(fā)性有機物/微生物等污染外,二氧化碳造成的導電度上升,pH下降是無法抗拒的。
特別要提的事情是,使用一般的pH meter來測超純水,其讀值是非常不穩(wěn)定的,原因如下;
一般性的pH meter皆設計使用在高離子強度(High ionic strength)的溶液中,而相對的,超純水卻是極度低離子強度(Ultra-low ionic strength)的溶液,實際上,市面上有低離子強度溶液專用的電極及靈敏度高的主機,如果不是使用這類型儀器,讀值就會有亂跳的現(xiàn)象,十分難以確認。
鹽橋(同義字:salt bridge/diaphragm/junction等)阻塞,造成應有功能喪失,導因于電極缺乏保養(yǎng),而鹽橋多是使用疏松多孔的陶磁或鐵弗龍材質(zhì)做成,主要是做為電極內(nèi)外陰陽離子平衡所用,但因缺乏定期清潔,在低離子強度的溶液下,所測到的超純水pH多為不合理的偏高,多數(shù)在9~11左右,如果遇到這種狀況,只要加入一小匙中性鹽(Neutral salt/KCl)以提高離子在鹽橋上的擴散能力,少有例外的,pH值會在幾秒之內(nèi)掉到pH 7以下,理論上,中性的KCl不會改變pH的,改變的,只是離子強度而已。
一般實驗室的pH meter常出現(xiàn)的問題如下: (a) pH標準液經(jīng)常是過期的。 (b)電極不用時,確認浸泡在3M的KCl溶液中。 (c)要經(jīng)常更換電極內(nèi)的參考電極溶液,否則會引起一連串毛病。
結(jié)論
基本上,檢測超純水的pH是無法證明水質(zhì)好壞,在二氧化碳可影響的pH范圍內(nèi)(pH 7→pH 4.5),任何pH讀值僅能表示二氧化碳溶解及碳酸解離的程度,除此之外,不代表任何意義。
如果, pH讀值偏堿,表示可能是電極出了問題(電極膜污染或老化,鹽橋阻塞,參考液污染等),如果要測超純水的pH,等同于讓pH meter在極限條件下工作,對pH meter的工作能力是極具挑戰(zhàn)的。
不建議使用酸度計來證明水質(zhì)的好壞,因為牽扯的因素太多了,所以以不接觸空氣的在線方式,檢測超純水的導電度,是最準確并最穩(wěn)定的做法,可由實驗及化學計算來證明,18.2MΩ.㎝的水,其陰/陽離子總量必定低于1 ppb,足堪水質(zhì)指標了。

 

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